真空热处理可以实现几乎所有的常规热处理所能涉及的热处理工艺，但热处理质量大大提高。与常规热处理相比，真空热处理的同时，可实现无氧化、无脱碳、无渗碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脱脂除气等作用，从而达到表面光亮净化的效果。而且真空热处理的价格高是因为设备贵，耗能多；每炉重量小是因为真空腔体小，容易抽真空；真空热处理后的工件比普通热处理工件抗氧化和耐腐蚀性强，且微观结构更为致密。